안녕하세요. 클린룸, 냉난방 공조설비 시공 전문업체 (주)에이치엔에스 김실장 입니다.

최첨단 글로벌 반도체 산업은 나노스케일 소자의 미세화와 복잡한 제조공정 및 소재, 설계의 혁신으로 최근 국가 기술경쟁력의 핵심 분야로 자리매김 하고 있습니다. 우리나라 역시 삼성과 하이닉스 등 글로벌한 반도체 기업을 보유하고 있죠. 이런 가운데 반도체 제품의 품질 및 생산성의 우위를 선점하기 위해서는 클린룸의 제어 기술이 매우 중요하다고 볼 수 있습니다.

오늘은 반도체 산업 현장에서 사용하는 클린룸의 역할과 실제 어느 정도 수준의 온도와 습도 등을 가지고 있는지 알아보도록 하겠습니다.

온도 22도, 습도 40%

글로벌 반도체 기업의 클린룸 온도는 22도(오차범위 2도), 상대습도는 40%(오차범위 5%) 수준으로 관리된다고 하며 실내 공기압은 양압을 항상 유지하고 있습니다.

*양압 : 외부의 공기가 클린룸 내부로 유입되지 않는 압력

글로벌 반도체 업계에서는 국제적인 클린룸 청정도 표준을 근거로 자체 반도체 클린룸 운영 기준을 수립하고 있습니다. 각 반도체 제조사들은 제품의 품질과 사양 및 신뢰성 확보 등을 위해 제조공정 중 제어해야 할 오염물질의 대상과 제품에 영향을 미치는 농도 등을 고려하여 설정한다고 합니다.

미세먼지의 경우 대기 중에 존재하는 입자의 수와 크기에 따라 분류하고 있으며 미국연방 클린룸 표준(US Federal Standard 209) 및 국제표준화기구(ISO: International Organization for Standardization) 표준문서 14644를 통용하고 있습니다.